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SESION
Procesos
en Semiconductores
Organizador:
Dr. F. Javier De la Hidalga Wade
En
este Simposio del XXIV Congreso de la SMCTSM, se presentarán
trabajos de investigación que actualmente se realizan
en instituciones mexicanas orientados hacia los diversos
procesos de fabricación de dispositivos semiconductores
y circuitos integrados. Los principales tópicos
estarán enfocados, aunque no restringidos, a problemas
actuales de las tecnologías de semiconductores
compuestos y principalmente del Silicio, como lo son la
integración de procesos, introducción y
desarrollo de nuevos materiales, depósito de películas
delgadas, técnicas de caracterización, grabado
de películas y micromaquinado. Se contará,
tentativamente, con las siguientes pláticas invitadas:
-
Dr. Víctor
Hugo Méndez, Instituto de Investigación
en Comunicación Óptica, IICO, UASLP: Research
and Development of Quantum Hall Effect Devices for Applications
in Metrology.
-
Dra. Claudia Reyes
Betanzo, INAOE, Grabado Seco: Aplicaciones en Micro
y Nanotecnologías.
-
Dr. Alfonso Torres
Jacome, INAOE, Desarrollo de una Tecnología 0.8
um-BiCMOS Optimizada con Nuevos Materiales.
-
Dr. Salvador Alcántara
Iniesta, Centro de Investigaciones en Dispositivos Semiconductores
del ICUAP, Sensores o Actuadores tipo Trampolín
y su Caracterización para ser utilizados en Dispositivos
Biosensores Micro y Nano-Electromecánicos.
-
Dr. Orlando Zelaya
Ángel, Departamento de Física, CINVESTAV:
Crecimiento de Películas Delgadas.
Atentamente,
Dr. F. Javier De la Hidalga Wade
Departamento de Electrónica, INAOE
Tel/Fax: (52)(222) 247-0517
jhidalga@inaoep.mx
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